生産線問答

無塵車間工程設計

时间:2016/6/21 9:30:04来源: 深圳市鵬凱新世紀科技有限公司 浏覽次數:

談到無塵車間工程,大家並不陌生,無塵車間工程其實也叫潔淨廠房工程、潔淨室工程,隨著科技的發展,社會中的各行各業對無塵車間工程的使用越來越普遍,好的潔淨室設計不僅能節省能源、降低運行成本、降低人力投入,而且可以給生産提供安全可靠的保證。本期鵬凱新世紀小編就以生産半導體工廠爲例,與大家簡單講解其設計形式需注意的要點。


爲了滿足半導體制造工藝的而特別設置的集成電路無塵車間工程。該潔淨室工程對環境潔淨度、溫濕度、振動、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相對于其他工業潔淨室,集成電路制造潔淨室有面積大、潔淨等級高、溫濕度控制精度高等特點。  

根據潔淨室工程中空氣循環特點可以將潔淨室分爲三種類型:循環空調機配合高效送風口系統、循環風機配合濕式密封系統和FFU循環系統。

第一种形式在小规模低等级要求的無塵車間工程設計中被广泛应用,对于大面积高等级的洁净室工程则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。 

第二種形式的設計可以滿足集成電路制造潔淨室工程大面積高等級的要求,但運行成本較高,並且潔淨室工程的風速、風量調節困難,系統升級改造困難,因此操作靈活性很低。 

第三种的FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低,而且操作灵活性很高,可以在不影响在线福利的情况下随时进行系统升级和调整,这些都能很好地满足半导体制造的需求,因此在半导体制造业FFU循环系统逐渐成为最主要的無塵車間工程設計方案。

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集成電路制造對無塵車間工程環境的控制有較爲嚴格的要求。不同的無塵車間工程工藝制程對潔淨度的要求也各不相同。  

采用FFU風機系統的潔淨室一般通過FFU的分布率來決定該潔淨室的潔淨等級,潔淨室的正壓通過新風量來控制,潔淨室內恒溫恒濕工程的控制是通過循環空氣冷卻系統和新風空調系統完成。  

ESD也是半導體制造環境控制的重要內容,靜電釋放可能對在线福利和生産設備造成損害,還可能引起矽片表面塵粒吸附,影響在线福利的良率。靜電消除要在潔淨室設計上進行總體考慮,除了設備接地(包括潔淨牆板和高架地板,辦公設備等)外,還要采用防靜電牆板、高架地板,人員要求穿著防靜電的潔淨服、潔淨鞋。對存在ESD危害風險的設備和生産區域應安裝靜電消除器。 

AMC是危害生産工藝並導致成品率降低的分子態化學物質。AMC會在半導體制造的柵底氧化、薄膜、多晶矽和矽化物形成、接觸成型、光刻等多個關鍵工藝上造成各種危害,影響在线福利質量,而單一的采用化學過濾器去除AMC的控制方法有許多條件限制,並且會大幅提高運行成本。因此應該從設計選址、設備選型、改進工藝流程等多方面加以考慮。另外,集成電路制造無塵車間工程對噪聲、微振、照度等都有相關的規定和要求,尤其是振動的控制,在潔淨室工程的建築結構設計上就要有所要求。關鍵設備必須安裝單獨的防振基礎。

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